单腔型高真空蒸镀系统

产品详情：

单腔设计，紧凑经济，轻松拥有高质量镀膜系统。

技术参数：

1极限真空：<2E-7Torr

2排气速率：从ATM到3E-6Torr<15min

3基板加热 ：RT-300ºC

4高分辨率镀膜速率显示及控制：±0.015Å

5**基板尺寸：200mm

6前后门设计可集成手套箱：可选配手套箱

7人机界面：自动化人机操作界面

8安全：全工业标准安全互锁，工业安全联锁，报警装置

厦门韫茂科技有限公司凭借在先进材料设备业务方面多年的经验，韫茂为新型芯片，半导体和锂电池领域的新材料开发和生产，提供***的纳米工艺设备和服务解决方案。根据您的特殊需求，我们为您定制打造创新纳米加工平台，保证高品质的设计，多功能，易于使用的界面，严格的安全控制，以及快速的交付和服务。