内外腔型白克级粉体原子层沉积系统

产品介绍：

内外腔型白克级粉体原子层沉积系统 专为粉体包覆而研发，具有独特的粉体包覆性能。

技术参数 ：

1样品**装载量：100g(可根据需求定制), 也可放置3D基体及多片平片

2样品反应温度：RT-300ºC

3前驱体：**可包括2组反应气体8组液态或固态反应前驱体,

4包覆均一性:<5%

5成膜速率 :1-2Å/Cycle (Al2O3)

6臭氧发生器:可选配，生产效率15g/h

7人机界面:全自动化人机操作界面

8安全:工业标准安全互锁,报警装置