内外腔型百克级粉体分子层沉积系统

技术参数 ：

1样品**装载量：100g(可根据需求定制), 也可放置3D基体及多片平片

2样品反应温度：RT-300ºC

3前驱体：**可包括2组反应气体8组液态或固态反应前驱体,

4包覆均一性:<5%

5成膜速率 :1-2Å/Cycle (Al2O3)

6臭氧发生器:可选配，生产效率15g/h

7人机界面:全自动化人机操作界面

8安全:工业标准安全互锁,报警装置

9其他选配：手套箱，Glovebox，RGA，QCM

厦门韫茂科技有限公司凭借在先进材料设备业务方面多年的经验，韫茂为新型芯片，半导体和锂电池领域的新材料开发和生产，提供***的纳米工艺设备和服务解决方案。根据您的特殊需求，我们为您定制打造创新纳米加工平台，保证高品质的设计，多功能，易于使用的界面，严格的安全控制，以及快速的交付和服务。