公斤级粉末原子层沉积镀膜系统

详情介绍：

公斤级粉末原子层沉积镀膜系统，1至20KG粉体装载能力，专为小批量生产而生，广泛应用于各领域小批量ALD包覆生产。

技术参数：

1样品**装载量 :1-20KG(可根据需求定制）

2样品反应温度:RT-300ºC

3前驱体:**可包括2组反应气体8组液态或固态反应前驱体,

4包覆均一性:<5%

5成膜速率 :1-2Å/Cycle (Al2O3)

6臭氧发生器:可选配，生产效率15g/h

7人机界面:全自动化人机操作界面

8安全:工业标准安全互锁,报警装置