双倾角约瑟夫森结制备系统QBT-J

约瑟夫森结超高压系统：

超高真空设计，真空互联传输平台，专为量子计算、超导应用而生。

QBT-J 技术参数：

1超高真空腔体 ：4个超高真空腔体,包括负荷锁/Aneal，离子铣削，电子束蒸发，氧化 极限真空极限压力<9e-10 Torr

2基板加热 ：RT-900ºC

3电子束蒸发 ：考夫曼离子源，离子能量100-600 eV，100-1200eV，离子束电流：20-200mA，100基板刻蚀均一性<3% 

4电子束蒸发 ：特高压5型衬垫电子束蒸发源，8kW电源

5氧化 Oxidation：流动与静态氧化

6基板操控能力：可实现180度倾斜及360度旋转，0.1度的精准控制

7基板传输：高度可靠和可重复的基板传输能力

8人机界面:全自动化人机操作界面

9安全:工业标准安全互锁,工业安全联锁,报警装置