Hitachi FlexSEM 1000扫描电子显微镜, 采用大束流和低球差的物镜和聚光镜设计，配备了高分辨率二次电子（SE）探头、高灵敏度五分割背散射(BSE)探头、IXRF SDD3330 EDS能谱仪。加速电压0.3-20kV，底片放大倍率6-300,000x。二次电子分辨率4.0nm（20kV）、15.0nm(1kV)；EDS分辨率133eV，分析元素范围Mg-Pu。可以对各种干燥无挥发的固态样品的形貌、纳米级形貌、粒径大小进行观察和分析；对金属核壳结构、矿石、岩石中的金属元素、稀土元素分布，金属在非金属样品中的分布都有非常清晰直观的效果图；同时配备的能谱仪附件不仅可以对所观察的样品进行元素定性、定量分析，还可以做出元素在样品形貌上的面分布和线分布。