技术参数：
1. 分辨率: 1.0nm@30KV（SE）; 3.0nm@1KV（SE） ; 2.5nm@30KV （BSE）
2. 放大倍率: 6倍-1000000 倍
3. 电子枪：肖特基场发射电子枪
4. 加速电压: 0～30kV
案例：
