FGL(RTP)系列滑轨式管式炉(Tmax1100℃)

滑轨式管式炉一体什结构设计,用干1100℃以下快速升温快速降温的特殊工艺要求，通过移动炉体实现快速冷却的目的。同时也可以预先设定温度，然后

移动到样品处，达到快速升温。适合使用广泛的RTPT艺及CVD石墨烯工艺。