1．产品名称：小型氧化亚硅气象沉积真空炉
2．应用领域：动力电池负极材料（氧化亚硅等可气相沉积材料）
型号
装料尺寸
装载量
工作温度
极限温度
真空度
总功率
气氛类别
工序时长
MGB15-85HH
Φ150 * 850
0.12M3
1350°C
1600℃
0.1* 0.5pa
35KW
Ar/N2
16H/炉
）
