布劳恩惰性气体系统(上海)有限公司
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  • FOM Technologies
    参考报价:电议
    型号:FOM alphaSC
    产地:丹麦
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  • 详细介绍:


    • 丰富的可选配置以适应客户的需求:

    • 涂布头定位传感器

    • 高清摄像头用于监控涂布过程

    • 多种固化功能(红外、紫外、热风、氮气风刀)

    • A4 及更大面积的真空吸盘

    • 涂布头的常规材料为不锈钢。可选其他材料和合金(玻璃、钨、钛)。

    • 金属涂布头表面可进行Tantaline耐腐蚀涂层处理

    • 涂布头温度在0-80℃内可控

    • 注射泵温度可控

    • 可与多种涂布方式联用:如喷墨、微型凹版印刷、刮刀涂布等。


    设计

    直观便捷的操作界面使得用户得以自由的设计涂布工艺配方。涂布桥架经优化设计,以实现精确安装和涂布头的快速定位;经减震的真空样品台则为基片提供一个平整的刚性支撑;样品台在精密轨道上以设定速度移动,从而实现功能材料的精密涂布。综合诸多细节全盘考虑和不断优化才可能成功建立起一个稳定可靠的多功能研发平台。各涂布元件的有机整合保证了多个涂布批次间的高可重复性,器件性能的高可比性 ,以及产品质量的高稳定性。

    机械素质

    该系统可选择手动或自动定位涂布,以及手动或电机控制的自动高度和侧移调整,分辨率为1µm。涂布速度在0.05到5.0m/min之间(无极调整)。平行度设置和涂布头平直度<1%,保证材料涂布时的精确度。交叉定位精度<100µm。涂布头多次拆装维护后依然可保证高度(涂布头与基材间隙)可重复性,从而保障批次可重复性。Metapor (TM) 真空吸盘面积为大于A4尺寸;平整度优于20µm;加热温度可达150℃,全表面温度均匀性可达<1℃。

    易于实验重复和配方调用

    该系统使用户可以以高度可控,可预测的方式进行高精度功能薄膜的重复涂布,帮助研究人员深入理解精密涂布过程中的各种变量。