简要描述:1、不锈钢的箱体,尺寸1800(长)X750(宽)X900(高)mm ,四个手套口 2、不锈钢制成的大真空过渡舱,右置或左置,尺寸:直径¢360mm,长度600mm 3、小的真空过渡舱,与大过渡室同侧布置,尺寸:直径¢150mm,长度300mm