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小型氧化亚硅气象沉积真空炉
参考报价:面议
型号:小型氧化亚硅气象沉积真空炉
产地:广东
产品详情

1.产品名称:小型氧化亚硅气象沉积真空炉

2.应用领域:动力电池负极材料(氧化亚硅等可气相沉积材料)

 

型号

装料尺寸

装载量

工作温度

极限温度

真空度

总功率

气氛类别

工序时长

MGB15-85HH

Φ150 * 850

0.12M3

1350°C

1600℃

0.1* 0.5pa

35KW

Ar/N2

16H/炉

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