气相沉积制粉一体真空炉

设备名称：氧化亚硅半连续气相沉积炉 

应用领域：氧化亚硅半连续量产 

工艺描述：高真空脱氧，气相沉积，自动研磨刮 料、炉外收集。可配AGV智能物流车

型号参数：

1．型号：MGC50-50-360HH

2. 技术参数：装料罐尺寸Φ400 * 1600，装料量Max.800Kg，工作温度１35０℃，极限温度1600℃，温差控制精度3℃，真空度0.1* 0.5pa，气氛类别：Ar/N2，总功率150KW，工序时长8H/炉。

3. 工艺特点：适用于动力电池负极材料（氧化亚硅等可气相沉积材料）大批量生产用；温差控制精度高，高温高真空；具备脱脂、脱水、混炼反应、提纯等工艺能力。生产效率高，全程全封闭全自动化作业，生产能耗低，性能稳定，主要元器件皆为进口大品牌，是目前业界真空气相沉积制粉工艺优秀的解决方案。