大面积CVD石墨烯生长设备

炉管尺寸

Φ300*3000mm

**进料量

20Kg

加热元件

进口KTL电阻丝

加热区数量

3-8区(可根据需求定制)

**温度

室温至1200℃，连续可调

控温方式

人机界面加PLC控制，10寸液晶屏控制，数字工控仪表双控，采用工业智能控温仪表和软件实现双控，采用模糊型PID控制

无纸记录

内置存储记录运行工艺数据，外接USB接口，可以电脑连接一键拷贝数据

结构描述

①设备可电动对半开启，自动控制冷却降温系统.实现可控冷却速度.

②在进料端配备2路高精度质量流量计系统，准确控制气体流量，可以实现生产工艺拓展和调整。

③系统采用自动化工艺流程，设定好工艺一键操作。降低人为因素，工艺可靠性可以达到99.9%；

④机械泵系统：1pa,另外配备微调系统，确保可以在稳定负压下生长石墨烯；可实现日产20万平方厘米石墨烯薄膜

腔体

采用内控温和外控温相互切换，防止石英折射和散射造成的温场不均匀现象

供气系统

三路质量流量计