【简单介绍】          

FGL系列双温区¬管式梯度炉专门设计用于双温区CVD工艺也可用于其它高温材料的热处理工艺。两个温区独立控制，温区可单独使用，也可提供较大梯度差的温场。优质硅钼棒、硅碳棒，硅碳棒，电阻丝组合加热，在同一腔体内实现不同的温度差，是CVD工艺的专用理想设备。

【详细说明】

FGL系列双温区­管式梯度炉(T max 1700℃和T max 1400℃)

FGL系列双温区­管式梯度炉专门设计用于双温区CVD工艺也可用于其它高温材料的热处理工艺。两个温区独立控制，温区可单独使用，也可提供较大梯度差的温场。优质硅钼棒、硅碳棒，硅碳棒，电阻丝组合加热，在同一腔体内实现不同的温度差，是CVD工艺的专用理想设备。

特点

1. 工作温度RT～1600℃

2. 炉管管径40mm～100mm可选

3. 温区个数2个

4. 高温温度梯度可达400℃，低温温度梯度可达600℃

5. 程序控温仪，智能逻辑PID算法，控制精准。可编辑、储存并调用多段程序，无需重新设置，操作简单。

6. 炉壳结构，双层炉壳风冷结构。

7. 采用不锈钢双层密封法兰，进、出气配美标针阀。

8. 两端可调节式法兰支撑结构，延长刚玉管使用寿命。

9. 超温保护功能，当温度超过允许设定值自动断电。

10. 安全保护当炉体漏电时自动断电。

11. LED高强度抗破坏全不锈钢按钮，经久耐用。

12. 拓展选件: 炉内测量系统（氧含量检测系统、温度检测系统）；

真空系统（旋片式机械泵、扩散泵机组、分子泵机组）；

气氛系统（浮子流量计、质量流量计）；

监控系统：（温度记录仪、触摸屏远程监控）；

技术参数